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結晶器振動檢測系統

發布時間:2019-06-27人氣:


1.技術參數

?采樣分析周期:20s

?振頻范圍:小于600cpm(10Hz)

?結晶器振動最大可測峰峰值:20mm

?主振位移測量精度:±0.05mm

?偏振位移測量精度:±0.05mm

?同步性測量精度:0.001s

?振頻測量精度:1cpm(0.02Hz)

?檢測通道數:2


2.軟件功能

?有效檢測結晶器豎直方向振動的幅度與振頻

?有效檢測結晶器水平方向偏振幅度

?有效檢測非正弦的振動波形及偏斜率

?有效檢測板坯不同測點的振動同步性

?圖形顯示振動加速度、速度與位移波形

?圖形顯示振動頻譜,可觀察結晶器振動中其他干擾源頻率

?圖形顯示X-Y位移軌跡圖,可直觀分析結晶器偏振及同步性

?可保存檢測數據并回放歷史數據


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